薄膜的介电性能测试方法

薄膜介电常数以及介电损耗的测试：

本文中所制备的薄膜在蒸镀铝电极后采用航天纵横ZJD-C型介电常数仪器，测试其等效电容以及损耗频谱，频率范围为 100KHz-5MHz，分别取样点为100 KHz，200 KHz，400 KHz，800 KHz，1MHz，2 MHz，3 MHz，4 MHz，5 MHz；根据式（2-2）算得相应的介电常数，其中薄膜的厚度采用数显千分尺测得，电极为方形，测量蒸镀电极的边长便可求的电极面积，需要注意的是此电极面积是薄膜上下两个背电极的重叠面积。 

薄膜击穿电压的测试 :

本论文中所制备的薄膜均采用中航时代生产的ZJC-5KV耐压测试仪测试其击穿电压；由于薄膜的击穿电压随薄膜质量好坏的变化很明显，即便是在同一条件下制得的薄膜不同区域的击穿电场都会有所不同 ，因此选定薄膜的 5 个不同区域，分别测试并求其平均值近似作为此薄膜的击穿电压，通过式将得到的击穿电压除以相应区域薄膜的厚度即可得到对应薄膜的击穿电??；耐压测试仪最高电压可达到 8000V，升压速率设定为 50V/s。 

本文主要介绍了通过溶液流延法制备纯 PVDF 薄膜以及 PVDF/BaTiO3复合薄膜的具体工艺流程及相关实验参数，最后简要介绍了本文中所要用到的薄膜介电性能测试方法及其具体参数设置。